纳秒精密加工设备

Ø 采用纳秒紫外激光器，短脉冲紫外辐射可以打断分子链结果，实现冷加工

Ø 设备搭配振镜扫描头或准直聚焦加工头，加工精度高

Ø 自研控制软件，集成同轴CCD影像定位系统，保证加工质量

光学性能

加工性能

序号

项目

参数

序号

项目

参数

1

激光器类型

355nm

1

加工幅面

100mm×100mm

2

冷却方式

恒温水冷

2

雕刻速度

0 - 50,000mm/s

3

激光功率

10-20W可选

3

运动轴  

三轴

4

光束质量

M²＜1.3

4

整机尺寸

1200x 1000 x1550mm